簡単成膜! 一目で分かる PVD コーティング 方法

HCD法(蒸着等)の溶解法による成膜

AIP法による成膜

スパッタ法による成膜

HCD(ホロカソード法)の成膜

利点

高密着力
緻密で綺麗な膜

欠点

剥離が難しい

AIP(アークイオンプレーティング法)の成膜

利点

さらに高い高密着力(大きい運動エネルギー)
ターゲットの調整で合金が可能

欠点

ドロップレットという粒が付く
細いもの(マイクロドリル)は折れやすい

スパッタ法の成膜

利点

キレイな膜
合金が可能

欠点

反応性が弱いく
圧膜が困難