HI-MAD処理 は、素材（合金）の表層部内部構造を再構築し、素材の持つ特性を最大限に引き上げ、硬度、離型性、耐食性を大幅に上昇させる、寸法変形の無い表面改質処理です。 粒界を無くすことにより、粒界欠損と粒界腐食などの合[…]

複合多層構造の改善により耐荷重性能が向上 新プラズマ源採用で従来より低温処理が可能 量産時のプロセスの信頼性が向上 最大処理寸法φ350×500mmです。

複合PVDをアーク放電蒸着法で実施し、水素フリーDLC＋金属膜を成膜出来ます。かつイオン蒸着で水素入りDLCも成膜可能です。 また、スパッター蒸着法でDLC、金属膜など多様システムで単層膜、複合膜を形成できます。