複合PVD装置　アーク電源、スパッタ、イオン蒸着

複合PVDをアーク放電蒸着法で実施し、水素フリーDLC＋金属膜を成膜出来ます。かつイオン蒸着で水素入りDLCも成膜可能です。

また、スパッター蒸着法でDLC、金属膜など多様システムで単層膜、複合膜を形成できます。