複合PVD装置 アーク電源、スパッタ、イオン蒸着

複合PVDでアークによる水素フリーDLCと金属膜、イオン蒸着で水素入りDLC

そしてスパッターでDLC、金属膜など多様システムで単層膜、複合膜を形成できる

PVD装置を紹介開始
複合機SP1000-4S-2A-2F

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